【48812】奥普光电：光栅尺是半导体设备的部件之一其精度要求取决于整机的技术指标需求

发布时间：2024-04-25 06:11:106浏览次数：1来源于：新闻中心

  同花顺300033）金融研究中心03月04日讯，有投资者向奥普光电002338）发问， 董秘，您好！2023年您回复超精尺才可以适用于DUV和EUV光刻机，我想问问，DUV光刻机和EUV光刻机相差那么大，有必要都用超精尺？莫非高精尺精度可以到达2nm，为啥不能用于DUV光刻机？并且超精尺研制需求数年时刻，要完成根本性国产代替那不是期望还很悠远？

  公司答复表明，光栅尺是半导体设备的部件之一，其精度要求取决于整机的技术指标需求。咱们会加强研制、尽力攻关，满意整机厂家需求。感谢重视。

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